掩模板夹持框
基本信息
| 申请号 | CN201210006853.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103207517B | 公开（公告）日 | 2019-02-12 |
| 申请公布号 | CN103207517B | 申请公布日 | 2019-02-12 |
| 分类号 | G03F1/64（2012.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 魏志凌; 高小平 | 申请（专利权）人 | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种掩模板夹持框，其特征在于，包括主框架、连杆、固定夹头和活动夹头，所述连杆设置于所述主框架上，所述固定夹头固定于所述连杆的一端，所述活动夹头设置于所述连杆的另一端并可在所述连杆上滑动，所述固定夹头和活动夹头用于夹持带外框的掩模板。本发明提供一种掩模板夹持框,其可以满足不同尺寸带外框的掩模板的承载固定，可以适应实际生产中同一检测平台不同尺寸带外框的掩模板的测定，且以活动夹头的设置更易于带外框的掩模板的夹持与拆装，生产成本低，效率高，具有广阔的市场前景。 |
