一种有机发光显示器用掩模板开口的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201410501856.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104294215B | 公开（公告）日 | 2019-02-12 |
| 申请公布号 | CN104294215B | 申请公布日 | 2019-02-12 |
| 分类号 | C23C14/04;C23C14/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 魏志凌;杨涛;王峰 | 申请（专利权）人 | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215300江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种有机发光显示器用掩模板开口的制作方法，其包括：激光形成开口步骤，所述激光形成开口步骤是通过激光头发射在方向上与掩模基板所在平面呈锐角的激光束，所述激光头发射的所述激光束在所述掩模基板上按照预设的轨迹运行并在所述掩模基板上形成开口，从而形成掩模板，所述形成在掩模基板上的开口靠近所述激光头一侧的边缘围成的面积S1小于背离所述激光头一侧的边缘围成的面积S2；通过该工艺制作掩模板开口能够避免采用传统化学蚀刻制作掩模板开口所带来的环境损害问题，亦能保证掩模板在靠近沉积基板一侧的开口（小开口）边缘（边缘所围成面积为S1）具有较好的直线度，能够很好的满足有机发光显示器有机材料的蒸镀应用。 |
