一种掩模板硬质框架载台及其调整方法
基本信息
| 申请号 | CN201410501857.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104294216B | 公开（公告）日 | 2019-05-10 |
| 申请公布号 | CN104294216B | 申请公布日 | 2019-05-10 |
| 分类号 | C23C14/04（2006.01）I; C23C14/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 魏志凌; 杨涛; 张炜平 | 申请（专利权）人 | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种掩模板硬质框架载台及其调整方法，载台包括基架、顶起机构、调平机构、支撑板以及定位机构，本发明为掩模板组装过程提供一个硬质框架的承载平台，该承载平台具有较强的机动性及实用性，能够较好的满足掩模板高精度组装的要求。 |
