一种蒸镀用金属掩模板的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201811613059.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109576642A | 公开（公告）日 | 2019-04-05 |
| 申请公布号 | CN109576642A | 申请公布日 | 2019-04-05 |
| 分类号 | C23C14/04（2006.01）I; C23C14/24（2006.01）I; C25D1/10（2006.01）I; C25D3/12（2006.01）I; C25D3/56（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 魏志凌; 胡鹏程; 黄朝; 李想 | 申请（专利权）人 | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种蒸镀用金属掩模板的制作方法，其制作方法包括以下步骤：S1、基材准备，S2、第一次电铸，S3、烘干，S4第二次电铸，S5、褪膜分层；其特征在于，所述第一次电铸步骤制备的是镍金属层，所述第二次电铸步骤制备的是镍铁合金层，所述镍铁合金层形成在所述镍金属层上。本方法能有效的消除蒸镀用掩模板的内应力，同时避免了在电铸液中加大量有机溶剂会在掩模板中夹杂杂质的弊端。 |
