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多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法和系统

基本信息

申请号 CN201710775817.X 申请日 -
公开（公告）号 CN107706121B 公开（公告）日 2020-05-26
申请公布号 CN107706121B 申请公布日 2020-05-26
分类号 H01L21/66;H01L21/67 分类 基本电气元件;
发明人 顾汉玉;张建文 申请（专利权）人 华润赛美科微电子（深圳）有限公司
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 代理人 华润赛美科微电子（深圳）有限公司
地址 518000 广东省深圳市龙岗区宝龙工业区宝龙五路5号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法和系统，包括：使用所述多台测试设备对标定元件进行测试，根据测出的值得到各测试设备的相对修正系数，每台测试设备上设有标定元件，标定元件的精度高于所述多台测试设备的测试精度；使用所述多台测试设备批量测试待测元件，将从测试设备直接读取的值作为各待测元件的实测值；通过待测元件使用的测试设备的相对修正系数对实测值进行修正，得到所述待测元件的实际值。上述多台测试设备批量测试的精度一致性修正方法和系统，通过各测试设备的相对修正系数来保证待测元件的精度加工，不需要逐个调整测试设备到标准机的精度标准就能保证待测元件的加工精度，省时省力，加工效率明显提高。