多晶硅生产中氯硅烷的分离方法以及分离装置专利查询专利号|摘要-满商公司网

多晶硅生产中氯硅烷的分离方法以及分离装置

基本信息

申请号	CN202110687508.3	申请日	-
公开（公告）号	CN113247908A	公开（公告）日	2021-08-13
申请公布号	CN113247908A	申请公布日	2021-08-13
分类号	C01B33/107（2006.01）I	分类	无机化学;
发明人	刘铁勇;唐红萍	申请（专利权）人	北京泽华化学工程有限公司
代理机构	北京唐颂永信知识产权代理有限公司	代理人	刘伟;任玮静
地址	100095北京市海淀区地锦路7号院8号楼
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种多晶硅生产中氯硅烷的分离方法以及分离装置，其方法包括下述步骤：干法回收原料S101进入回收料精制塔T1分离，塔顶采出含有部分二氯二氢硅的物流S102，塔上部侧线采出含有三氯氢硅和剩余的二氯二氢硅的物流S103，塔下部侧线采出含有部分四氯化硅的物流S104，塔釜采出含有剩余四氯化硅的物流S105；含有部分二氯二氢硅的物流S102和一部分含有部分四氯化硅的物流S104进入反歧化反应器R1中反应，反应所得到的产物流S201进入反歧化分离塔T2分离，塔顶采出含有二氯二氢硅的物流S204，塔侧线采出含有三氯氢硅的物流S205，塔釜采出四氯化硅产品S206。该方法降低了投资，利于控制产品指标，并且降低了操作能耗，提高了分离指标。