一种光伏电池的刻蚀方法
基本信息
| 申请号 | CN201910556205.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110289337B | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN110289337B | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | H01L31/18（2006.01）I;H01L21/3065（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 刘宏发;刘慧宇;谭晓彬;李林 | 申请（专利权）人 | 信利半导体有限公司 |
| 代理机构 | 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人 | 许青华;廖苑滨 |
| 地址 | 516600广东省汕尾市区东冲路北段工业区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光伏电池的刻蚀方法，包括如下步骤：提供待刻蚀光伏电池，所述待刻蚀光伏电池包括铝层和N层，所述铝层和N层的界面之间存在Al‑Si的过渡层；采用反应离子刻蚀技术，通过加大刻蚀功率和提高刻蚀气体流量，去除所述过渡层。本发明中，采用反应离子刻蚀技术，通过加大刻蚀功率和提高刻蚀气体流量，加强物理刻蚀作用，去除金属与半导体结合的过渡层，以达到刻蚀PIN功能层的目的；本发明不用更换现有的刻蚀气体，也不用更换设备就能解决金属与半导体物质混合的过渡层，能够有效地缩短生产周期，提高生产效率，节省生产成本。 |
