亚微米级高精度HBT位移传感器的信号转换器以及信号修正方法
基本信息
申请号 | CN201910409593.X | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110132115A | 公开(公告)日 | 2019-08-16 |
申请公布号 | CN110132115A | 申请公布日 | 2019-08-16 |
分类号 | G01B7/02 | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 蒋文郁;顾睿杰 | 申请(专利权)人 | 无锡市迈日机器制造有限公司 |
代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所(普通合伙) | 代理人 | 无锡市迈日机器制造有限公司 |
地址 | 214101 江苏省无锡市锡山经济开发区芙蓉中三路99号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供一种亚微米级高精度HBT位移传感器的信号转换器,包括:激励信号发生器、同步取样脉冲发生器、交流放大器、同步取样器、有源滤波器、高增益直流放大器、A/D转换器、单片机、DA转换器、模拟量输出口以及数字量接口;所述单片机中设有信号修正模块,用于对HBT位移传感器的测量值进行线性修正;本发明还提出一种亚微米级高精度HBT位移传感器的信号转换器的信号修正方法。本发明提高了HBT位移传感器的测量精度,线性好,适合多品种、高精密柔性生产线的现场测量需求。 |
