大量程亚微米级高精度气电转换器
基本信息
| 申请号 | CN201310541652.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103528490B | 公开（公告）日 | 2016-04-06 |
| 申请公布号 | CN103528490B | 申请公布日 | 2016-04-06 |
| 分类号 | G01B7/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 蒋文郁;贺黎明 | 申请（专利权）人 | 无锡市迈日机器制造有限公司 |
| 代理机构 | 无锡市大为专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 无锡市迈日机器制造有限公司 |
| 地址 | 214101 江苏省无锡市锡山经济开发区芙蓉中三路99号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一大量程亚微米级高精度气电转换器，其包括双稳气压测量室、精密信号调理部及PC机；气体稳压过滤器连接双稳气压测量室，所述双稳气压测量室连接压电传感器，精密可调双稳压基准电源分别与压电传感器及调零器连接；压电传感器依次与高增益放大器、调零器、有源滤波器、A/D转换器、单片机连接；所述有源滤波器连接模拟输出接口；所述单片机连接232串行接口；所述232串行接口连接PC机，PC机通过232串行接口与单片机进行快速实时通讯，能实时地获取单片机获得的气电转换器的测量值。本发明有效提高了转换器的转换精度；在测量范围精度高；测量范围在±40um时，从而适合了多品种、高精密柔性生产线的现场测量需求。 |
