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一种声波探测器

基本信息

申请号 CN201811490922.X 申请日 -
公开（公告）号 CN109489804B 公开（公告）日 2021-09-28
申请公布号 CN109489804B 申请公布日 2021-09-28
分类号 G01H11/06（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 张中侠;邓海蛟;王天堃 申请（专利权）人 金华伏安光电科技有限公司
代理机构 北京权智天下知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 杨剑
地址 317100 浙江省台州市三门县浦坝港镇梅岙村西片324号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种声波探测器,包括衬底层,所述衬底层的上方设置有半导体层，所述半导体层的上方设置有绝缘层，所述绝缘层的上方设置有柔性载体层，所述柔性载体层的上方设置有石墨烯层,该声波探测器，通过声波传递到石墨烯层，产生形变，引起石墨烯层的介电常数发生变化，通过检测石墨烯层所加载的电压的变化，进行声波的检测；同时该声波探测器的半导体层可以与调控电压进行电连接，以便作为栅极，调控石墨烯层的介电常数；也可以通过入射光直接入射石墨烯层，使得石墨烯层的介电常数变化，对石墨烯层的介电常数进行调控。