生物传感用微针及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201910459323.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110693503A | 公开（公告）日 | 2020-01-17 |
| 申请公布号 | CN110693503A | 申请公布日 | 2020-01-17 |
| 分类号 | A61B5/15 | 分类 | 医学或兽医学；卫生学; |
| 发明人 | 李岩;张航;埃里克J.M.布隆迪尔;崔波 | 申请（专利权）人 | 广东往圣新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 杭州橙知果专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 淄博探微纳米科技有限责任公司;广东往圣新材料科技有限公司 |
| 地址 | 255000 山东省淄博市高新区政通路135号高科技创业园E座531-2 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种生物传感用微针及其制造方法。所述方法包括在基板的宽面上沉积至少一层光刻胶，并且所述光刻胶随后被图案化以确定所述微针的特征。以深反应离子蚀刻（DRIE）的形式进行的第一次蚀刻处理用于将所述基板蚀刻到所述蚀刻深度小于所述基板总深度的第一结构中，以产生至少一个与所述光刻胶下所述基板部分相邻的牺牲特征。随后以各向同性湿法蚀刻的所述形式进行第二次蚀刻处理，其中至少一个所述牺牲特征的蚀刻使蚀刻速率沿所述微针的所述长度逐渐变化，从而使所述微针尖变锋利。 |
