生产高纯碳化硅用原料硅源的提纯装置
基本信息
| 申请号 | CN201920255371.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209835648U | 公开（公告）日 | 2019-12-24 |
| 申请公布号 | CN209835648U | 申请公布日 | 2019-12-24 |
| 分类号 | C01B33/107（2006.01） | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 李显坪; 陈琦; 唐宝发 | 申请（专利权）人 | 扬州中天利新材料股份有限公司 |
| 代理机构 | 扬州市锦江专利事务所 | 代理人 | 扬州中天利新材料股份有限公司 |
| 地址 | 225000 江苏省扬州市邗江区甘泉街道双塘村花庄组 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 生产高纯碳化硅用原料硅源的提纯装置，涉及高纯硅源/碳源得到的高纯硅和高纯碳高温合成法生产高纯碳化硅的工业化生产技术，特别是碳化半导体用高纯碳化硅的合成设备的技术领域，主要由蒸馏釜、精馏塔、冷却器、接受罐和尾气处理装置组成；选用低沸点的硅源和碳源进一步提纯确保提纯后合成高纯碳化硅原料的纯度，在此实施了硅源的提纯装置。本装置的特点是：简单、合理、节能、环保、高效。 |
