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一种真空溅镀时防止尖端放电产生的加工工艺

基本信息

申请号	CN202111464803.9	申请日	-
公开（公告）号	CN114134468A	公开（公告）日	2022-03-04
申请公布号	CN114134468A	申请公布日	2022-03-04
分类号	C23C14/34（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I;C23C14/56（2006.01）I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	颜玮;王斌;李晓星	申请（专利权）人	海珀（滁州）材料科技有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	239000安徽省滁州市镇江路5号
法律状态	-

摘要

本发明涉及刀片真空溅镀领域，具体是一种真空溅镀时防止尖端放电产生的加工工艺，包括绝缘板、刀片表面处理、真空溅镀设备检测和刀片真空溅镀加工，绝缘板包括有粘贴板，粘贴板的顶部设置有橡胶层，橡胶层的顶部设置有聚四氟乙烯膜，聚四氟乙烯膜的顶部设置有丙烯酸胶粘剂，丙烯酸胶粘剂的顶部设置有防静电处理层，防静电处理层的顶部设置有聚乙烯膜，聚乙烯膜的顶部设置有PET隔离膜，刀片真空溅镀包括以下步骤：S1.放置；S2.启动真空泵；S3.启动真空溅镀设备。本发明的有益效果在刀片真空溅镀时防止尖端放电，不仅提高刀片在真空溅镀的质量，提高刀片在真空溅镀加工时的安全性，能避免刀片上出现毛刺现象在真空溅镀时发生尖端放电现象。