二波长半导体激光装置

基本信息

申请号 CN200610106015.1 申请日 -
公开(公告)号 CN100563069C 公开(公告)日 2009-11-25
申请公布号 CN100563069C 申请公布日 2009-11-25
分类号 H01S5/40(2006.01)I;H01S5/026(2006.01)I;H01S5/323(2006.01)I;H01S5/343(2006.01)I;H01S5/16(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 福久敏哉;万浓正也;古川秀利 申请(专利权)人 松下汽车电子系统(苏州)有限公司
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汪惠民
地址 日本大阪府
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种半导体激光装置及其制造方法,特别是,在二波长激光装置等的单片集成激光装置中,根据1次的杂质扩散工序,在活性层的发射边缘面附近区域分别形成良好的窗口区。其包括:发出第1波长激光的第1元件和发出第2波长激光的第2元件,该第1元件由第一导电型的第1覆层(101)、位于发射边缘面附近具有第1窗口区的第1活性层(102)、和第二导电型的第1覆层(103)在衬底上从下依次层积形成,该第2元件由第一导电型的第2覆层(104)、位于发射边缘面附近具有第2窗口区的第2活性层(105)、和第二导电型的第2覆层(106)在衬底上从下依次层积形成;第二导电型的第1覆层(103)的晶格常数及第二导电型的第2覆层(106)的晶格常数是被调整的常数,以使得在第1活性层(102)的第1窗口区中所含的杂质的扩散速度、和在第2活性层(105)的第2窗口区中所含的杂质的扩散速度的差异获得补偿。