一种甲基三氯硅烷的利用系统
基本信息
| 申请号 | CN202120619696.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215886384U | 公开（公告）日 | 2022-02-22 |
| 申请公布号 | CN215886384U | 申请公布日 | 2022-02-22 |
| 分类号 | C01B33/107（2006.01）I;C01B33/18（2006.01）I;C07F7/18（2006.01）I;C07F7/20（2006.01）I;C08G77/04（2006.01）I;C08G77/06（2006.01）I | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 李文;黄江波;方袁烽;王珂 | 申请（专利权）人 | 浙江三时纪新材科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人 | 宋丽荣 |
| 地址 | 313000浙江省湖州市敢山路1919号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种甲基三氯硅烷的利用系统，其包括反应塔；与反应塔相连的氯化氢制备组件，氯化氢制备组件包括冷却单元和脱醇单元；与氯化氢制备组件相连的三氯氢硅制备组件，从而提供半导体材料的晶圆；与反应塔相连的球形二氧化硅制备组件，球形二氧化硅制备组件包括反应釜、固液分离单元和球形二氧化硅制备单元，反应釜与反应塔直接相连，从而提供半导体材料的封装填料。通过本实用新型的甲基三氯硅烷的利用系统，直接法合成有机硅单体时的过剩产品甲基三氯硅烷被用来生产高附加值的产品三氯氢硅和球形二氧化硅，意义重大。 |
