一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机及镀制方法
基本信息
| 申请号 | CN202111561197.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113943919A | 公开（公告）日 | 2022-01-18 |
| 申请公布号 | CN113943919A | 申请公布日 | 2022-01-18 |
| 分类号 | C23C14/06（2006.01）I;C23C14/08（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;H01L31/0216（2014.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 杨欢;潘锦功;傅干华;孙庆华;吕延坤 | 申请（专利权）人 | 邯郸中建材光电材料有限公司 |
| 代理机构 | 成都顶峰专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 胡庆波 |
| 地址 | 056000河北省邯郸市经济开发区和谐大街19号1号楼A座4层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于发电玻璃镀膜技术领域，公开了一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜机，包括连接有第一抽真空装置的AR膜镀制腔室，所述AR膜镀制腔室连通有至少一个MgF2靶材蒸发腔室、ZrO2/SiO2靶材蒸发腔室和Al2O3/TiO2靶材蒸发腔室，所述MgF2靶材蒸发腔室、ZrO2/SiO2靶材蒸发腔室和Al2O3/TiO2靶材蒸发腔室沿AR膜镀制腔室内发电玻璃的移动方向依次设置；还公开了一种碲化镉发电玻璃AR膜镀膜方法。本发明可使得镀制而成的AR膜具有更好的附着力、均匀性、增透效果和光电转换效率，而且也提升了AR膜的使用寿命，同时碲化镉发电玻璃的AR膜和碲化镉薄膜均可在同一台设备上镀制，节约了设备的投入成本，也利用碲化镉高温镀膜的特点，利用余热镀制AR膜，节约了资源。 |
