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三轴微型加速度计静态性能的测试装置及其测试方法

基本信息

申请号 CN200910057623.1 申请日 -
公开（公告）号 CN101957387B 公开（公告）日 2012-04-18
申请公布号 CN101957387B 申请公布日 2012-04-18
分类号 G01P21/00 分类 测量；测试;
发明人 邹波;华亚平;付世 申请（专利权）人 丹阳深迪亚微电子技术有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 201203 上海市张江高科技园区晨晖路88号1号楼307室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种三轴微型加速度计静态性能的测试装置及其测试方法，该测试装置的马达为测试平台的转动提供动力，传动轴是马达的动力传输装置且为测试平台的转动传输动力，法兰是将测试母板和连接装置固定在传动轴上，测试母板上装有用于测试一待测器件信号的测试回路并输出信号，Y方向定位板和X方向定位板固定在连接装置上，间隔块固定于测试板的一端，测试板为两块并相对于马达转动的轴心对称安置，测试板上装有待测器件定位槽且一端插入插槽中，插槽安装在转动装置上，并分别置于X方向定位板的两侧，与测试母板有电线连接，连接装置固定在法兰上。本发明能完成器件的灵敏度和零点偏置等多种性能的测试。