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一种三轴微型陀螺仪的测试装置及测试方法

基本信息

申请号	CN201110453332.1	申请日	-
公开（公告）号	CN102564456A	公开（公告）日	2012-07-11
申请公布号	CN102564456A	申请公布日	2012-07-11
分类号	G01C25/00(2006.01)I	分类	测量；测试;
发明人	金魏新	申请（专利权）人	丹阳深迪亚微电子技术有限公司
代理机构	北京英特普罗知识产权代理有限公司	代理人	深迪半导体（上海）有限公司
地址	200120 上海市浦东新区张江高科技园区蔡伦路1690号2号楼302
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种三轴微型陀螺仪的测试装置及测试方法，前者包括测试组件和带动测试组件转动的驱动件，驱动件的转轴与测试组件的用于安装待测试三轴微型陀螺仪的测试平面间的夹角为α，α大于0度小于90度，其测试方法为将三轴微型陀螺仪安装于测试平面上，使其z轴与测试平面垂直，x轴和y轴与测试平面平行；使驱动件带动测试组件以角速度ω转动；读取三轴微型陀螺仪分别在z轴、x轴和y轴上输出的角速度ωz、ωx和ωy；判断角速度ωz、ωx和ωy是否分别等于ωsinα、ωcosαcosγ和ωcosαsinγ 采用本发明的测试装置及测试方法无需改变测试轴向即可完成三轴微型陀螺仪在三个轴向上的测试，设备实现简单，不仅减少了测试时间，也降低了测试装置的成本。