压电换能器制作方法及压电换能器
基本信息
| 申请号 | CN202110489575.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113381721A | 公开（公告）日 | 2021-09-10 |
| 申请公布号 | CN113381721A | 申请公布日 | 2021-09-10 |
| 分类号 | H03H9/17（2006.01）I;H01L41/083（2006.01）I;H01L41/09（2006.01）I;H01L41/27（2013.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 龚颂斌;加布里埃尔·维达尔·阿尔瓦雷斯 | 申请（专利权）人 | 偲百创（深圳）科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 刘佳妮 |
| 地址 | 518048广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园4栋15层1501-1503 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种压电换能器制作方法及压电换能器，首先在承载晶圆上制备底部声学反射层，再在压电晶圆上制备顶部声学反射层，然后将底部声学反射层远离承载晶圆的一侧与顶部声学反射层远离压电晶圆的一侧结合，最后减薄压电晶圆，形成压电换能器。承载晶圆起到承载作用，压电晶圆被减薄而形成的压电薄膜可以被激发声振动，顶部声学反射层和底部声学反射层可以限制声学振动，使得到的压电换能器能够在高频下工作，采用该方法制成的压电换能器具有特定的层叠组合和压电薄膜,可以激发和支持高性能的声学振动模式,具有较低的固有损耗，能够在保持单位面积的同时获得更高的单位面积电容,从而使制成的压电换能器工作性能佳。 |
