厚度方向激励剪切模式的声学谐振器
基本信息
| 申请号 | CN202110276005.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114285390A | 公开（公告）日 | 2022-04-05 |
| 申请公布号 | CN114285390A | 申请公布日 | 2022-04-05 |
| 分类号 | H03H9/17（2006.01）I;H03H9/09（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I;H03H3/02（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 龚颂斌;吕若辰 | 申请（专利权）人 | 偲百创（深圳）科技有限公司 |
| 代理机构 | 华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 虞凌霄 |
| 地址 | 518048广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园4栋15层1501-1503 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种厚度方向激励剪切模式的声学谐振器，包括：声学镜，包括至少一第一声反射层和至少一第二声反射层，各所述第一声反射层的声阻抗小于各所述第二声反射层的声阻抗；底电极层，位于所述声学镜上；压电层，设于所述底电极层上，所述压电层包括单晶材料的铌酸锂和/或单晶材料的钽酸锂；电极单元，设于所述压电层上；横向反射器，设于所述压电层上，包括位于所述电极单元的第一侧的第一反射器和位于所述电极单元的第二侧的第二反射器，所述横向反射器用于对声波进行横向反射；其中，所述底电极层和电极单元用于形成电场。本发明可以在3GHz以上的频率下具有高机电耦合系数和高Q值。 |
