压电换能器的制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110376688.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113270539A | 公开（公告）日 | 2021-08-17 |
| 申请公布号 | CN113270539A | 申请公布日 | 2021-08-17 |
| 分类号 | H01L41/08;H01L41/312 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 龚颂斌;杨岩松 | 申请（专利权）人 | 偲百创（深圳）科技有限公司 |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人 | 姚姝娅 |
| 地址 | 518048 广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园4栋15层1501-1503 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种压电换能器的制备方法，包括：在压电晶圆上形成与压电换能器的预设方向平行或垂直的第一标记；在承载晶圆上形成与承载晶圆的切割方向平行或垂直的第二标记，第二标记和第一标记的形状相同；将第一标记和第二标记对齐后键合压电晶圆和承载晶圆，形成工艺晶圆，工艺晶圆具有压电晶圆的第一表面用于形成压电换能器。本申请通过压电晶圆上的第一标记和承载晶圆上的第二标记使得压电换能器的预设方向与承载晶圆的切割方向平行或者垂直，从而达到提高承载晶圆可用晶圆区域利用率的目的。 |
