一种谐振器件及声学滤波器
基本信息
| 申请号 | CN202120382966.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214256261U | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN214256261U | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | H03H9/25（2006.01）I;H03H9/64（2006.01）I | 分类 | 基本电子电路; |
| 发明人 | 龚颂斌;杨岩松 | 申请（专利权）人 | 偲百创（深圳）科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京品源专利代理有限公司 | 代理人 | 孟金喆 |
| 地址 | 518000广东省深圳市福田区梅林街道梅都社区中康路136号深圳新一代产业园4栋15层1501-1503 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型实施例公开了一种谐振器件及声学滤波器。谐振器件包括晶圆衬底、压电层以及叉指电极层；压电层位于晶圆衬底的一侧，压电层包括压电单晶材料，压电单晶材料包括互相垂直的第一晶轴、第二晶轴以及第三晶轴；叉指电极层产生于压电层内的电场方向为器件方向；其中，第一晶轴垂直于晶圆衬底，且器件方向与第二晶轴的夹角为角A1，‑30°≤A1≤10°；或者，第一晶轴垂直于晶圆衬底，且器件方向与第二晶轴的夹角为角A2，170°≤A2≤210°；或者，第二晶轴与垂直于晶圆衬底的方向的夹角为角B1，‑20°≤B1≤40°，且器件方向与第一晶轴的夹角为角B2，‑20°≤B2≤20°；在保证谐振器件低制造成本的同时，提高了谐振器件的工作频率及性能。 |
