一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器
基本信息
| 申请号 | CN201910097303.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111504524A | 公开（公告）日 | 2020-08-07 |
| 申请公布号 | CN111504524A | 申请公布日 | 2020-08-07 |
| 分类号 | G01L1/18;G01L9/06 | 分类 | - |
| 发明人 | 周志明;邢利阳 | 申请（专利权）人 | 南京容宇仪器仪表有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 211162 江苏省南京市江宁区滨江开发区闻莺路5号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种基于陶瓷玻璃微熔工艺的压力传感器。所述传感器由测压端口、芯片、膜片、信号处理电路板、电连接组件，所述芯片与所述信号处理电路板键合连接，其特征在于，所述膜片为陶瓷膜片，所述芯片与所述陶瓷膜片通过玻璃微熔工艺连接；所述玻璃微熔工艺为所述芯片通过玻璃胶烧结于所述陶瓷膜片上；所述陶瓷膜片固定于金属基座上；所述测压端口与被测端口密封连接；所述信号处理电路板为柔性电路板或硬质电路板。所述传感器具有如下优点：①采用玻璃微熔工艺的压力传感器，具有整体精度高，稳定好等优点；②采用陶瓷膜片，形变量较大，可以提高传感器在低压时的精度。 |
