一种新型硅晶炉加热结构
基本信息
| 申请号 | CN201621474791.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206308448U | 公开（公告）日 | 2017-07-07 |
| 申请公布号 | CN206308448U | 申请公布日 | 2017-07-07 |
| 分类号 | C30B29/06;C30B28/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 郭艳峰;冯立学;朱松涛 | 申请（专利权）人 | 河北宁远新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 071400 河北省保定市蠡县东二环北路路东高新工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种新型硅晶炉加热结构，其包括保温筒，在保温筒内设有生长炉底座，在生长炉底座中心处设有支撑柱，生长炉底座上设有多个加热电极，各个加热电极环绕支撑柱均匀分布，在生长炉底座上还设有第一测温器和第二测温器，位于生长炉底座上设有环形导轨，在环形导轨上配装有半圆形的隔热笼，在支撑柱的顶端设有高温计，采用多测温器同时工作，并且两个测温器相对称，可以时时校对两个测温器的温度，配合顶部的高温计还可以实现整体温度的把控，可以保证热场均匀，加热效果良好，可控性好。 |
