一种新型硅晶炉
基本信息
| 申请号 | CN201621487645.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206308446U | 公开（公告）日 | 2017-07-07 |
| 申请公布号 | CN206308446U | 申请公布日 | 2017-07-07 |
| 分类号 | C30B28/06;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 赵亮;冯立学;朱松涛;杨定勇 | 申请（专利权）人 | 河北宁远新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 071400 河北省保定市蠡县东二环北路路东高新工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种新型硅晶炉，其包括炉壳，所述的炉壳的底壁上设有支撑柱，支撑柱的顶端设有坩埚座，在坩埚座上设有坩埚，在炉壳内还设有供气管，供气管的一端与炉壳的进气口相接通，供气管的另一端延伸至坩埚的内腔，在炉壳的两侧分别设有第一出气口和第二出气口，第一出气口与第二出气口成镜像对称，所述的第一出气口和第二出气口高于坩埚下表面，第一出气口和第二出气口低于供气管的出气端，采用双开口式结构，使得惰性气体进入坩埚后均匀向两侧扩散，使得惰性气体分散均匀后下料加热，使得各个部分惰性气体分散浓度相同，不会出现侧偏的情况。 |
