一种新型硅晶炉加热器装置
基本信息
| 申请号 | CN201621474781.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206308447U | 公开（公告）日 | 2017-07-07 |
| 申请公布号 | CN206308447U | 申请公布日 | 2017-07-07 |
| 分类号 | C30B29/06;C30B28/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 赵亮;冯立学;朱松涛;杨定勇 | 申请（专利权）人 | 河北宁远新能源科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 071400 河北省保定市蠡县东二环北路路东高新工业园区 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种新型硅晶炉加热器装置，属于硅晶制备装置领域，其包括第一U型臂和第二U型臂，第二U型臂的中心点枢接在第一U型臂的中心处，第二U型臂可沿着枢接点自转，在第一U型臂和第二U型臂的内壁上都设有多个侧壁加热电极，在第二的中心点出设有底壁加热电极，双U型臂可以达到任何所需求角度，U型臂刚好包裹坩埚，实现均温加热。 |
