一种适用于VAD法沉积的喷灯专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种适用于VAD法沉积的喷灯

基本信息

申请号	CN201910012989.0	申请日	-
公开（公告）号	CN109694185B	公开（公告）日	2021-10-19
申请公布号	CN109694185B	申请公布日	2021-10-19
分类号	C03B37/014（2006.01）I	分类	玻璃；矿棉或渣棉;
发明人	金雾;田锦成;伍淑坚;梁后杰	申请（专利权）人	武汉烽火锐拓科技有限公司
代理机构	武汉智权专利代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	邱云雷
地址	430000湖北省武汉市化学工业区北湖产业园
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种适用于VAD法沉积的喷灯，包括灯体，灯体上开设有呈一字型的供料孔以及围绕在供料孔外侧的多层环形气孔；多层环形气孔的形状与供料孔的形状相适配，其包括从内向外依次布置的内层隔离气孔、内层火焰孔、外层火焰孔和外层隔离气孔；内层火焰孔包括内层氢气孔和内层氧气孔，外层火焰孔包括外层氢气孔和外层氧气孔；供料孔、内层氢气孔、内层氧气孔、外层氢气孔和外层氧气孔分别被分隔并形成多个支孔；支孔、内层隔离气孔和外层隔离气孔分别连通有进气管道，进气管道上设有流量调节阀。采用连续区域沉积，沉积端面更为平缓、均匀，有利于沉积端面的温度控制；调节外层不同区域的氢气流量，可以均匀温度场，减少粉棒开裂、断裂问题。