首页/ 武汉烽火锐拓科技有限公司/ 专利详情

适用于OVD沉积设备的在线清洗系统及方法

基本信息

申请号 CN202010734185.4 申请日 -
公开（公告）号 CN111921996A 公开（公告）日 2020-11-13
申请公布号 CN111921996A 申请公布日 2020-11-13
分类号 B08B9/032;B08B9/093 分类 清洁;
发明人 崔东明;孔明;伍淑坚 申请（专利权）人 武汉烽火锐拓科技有限公司
代理机构 武汉智权专利代理事务所（特殊普通合伙） 代理人 武汉烽火锐拓科技有限公司;烽火通信科技股份有限公司
地址 430000 湖北省武汉市东湖高新技术开发区高新四路6号
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及适用于OVD沉积设备的在线清洗系统及方法，清洗剂储罐上设有废气排放阀；第一管路两端连通于清洗剂储罐，沿清洗剂流向，第一管路上依次设有输送泵、第一清洗剂阀和第二清洗剂阀，第一管路位于第一清洗剂阀与第二清洗剂阀之间的管段断开，以形成分别连通蒸发器进口和加热料管出口的第一端口和第二端口；气体吹扫装置通过吹扫进气阀连接于第一管路上，并位于第一清洗剂阀下游；控制装置与废气排放阀、输送泵、第一清洗剂阀、第二清洗剂阀、气体吹扫装置和吹扫进气阀相连，并控制废气排放阀、输送泵、第一清洗剂阀、第二清洗剂阀、气体吹扫装置和吹扫进气阀工作。本申请能解决相关技术中无法快速有效地清除粘稠硅油或弹性凝胶的问题。