用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构
基本信息
| 申请号 | CN202110217035.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112828868A | 公开（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申请公布号 | CN112828868A | 申请公布日 | 2021-05-25 |
| 分类号 | B25J9/00;B25J19/00;B25J11/00 | 分类 | 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手; |
| 发明人 | 何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 | 申请（专利权）人 | 昀智科技（北京）有限责任公司 |
| 代理机构 | 北京中索知识产权代理有限公司 | 代理人 | 胡大成 |
| 地址 | 102300 北京市门头沟区莲石湖西路98号院5号楼703室-1（智创空间） | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种用于晶圆搬运机器人的旋转控制结构，包括支撑结构、驱动结构、传动结构和旋转结构；支撑结构包括底板、基座和面板，基座为具有顶底开口的中空腔体结构，且内壁设置有隔板，将基座分隔为顶层基座和底层基座，面板和底板分别安装在基座上；驱动结构贯穿旋转结构并安装在基座上；传动结构安装在基座上，包括第一传动结构、第二传动结构和连接轴；连接轴转动连接在基座上；第一传动结构位于底层基座内，并分别与连接轴底端和驱动结构固接；第二传动结构位于顶层基座内，并分别与连接轴顶端和旋转结构固接。通过将传动机构设置在基座的顶层和底层，并与连接轴固接，本发明装置结构紧凑，占用空间小，有很好的控制精度及运动稳定性。 |
