首页/ 昀智科技（北京）有限责任公司/ 专利详情

真空吸附式叉形末端夹持器

基本信息

申请号 CN202021228005.7 申请日 -
公开（公告）号 CN212331075U 公开（公告）日 2021-01-12
申请公布号 CN212331075U 申请公布日 2021-01-12
分类号 B25J15/06 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 申请（专利权）人 昀智科技（北京）有限责任公司
代理机构 北京中索知识产权代理有限公司 代理人 昀智科技（北京）有限责任公司
地址 102300 北京市门头沟区莲石湖西路98号院5号楼703室-1（智创空间）
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种真空吸附式叉形末端夹持器,包括：本体；法兰,法兰位于本体一端；和吸盘,吸盘位于本体另一端,并通过本体与法兰呈一体结构,吸盘的端缘部开设有叉形缺口。目前行业中常使用中心接触的方式来拾取晶圆片，但对于大尺寸，超薄晶圆片来说，仅仅依靠中间接触，会造成晶圆的边缘区域受自重影响而下垂，造成整片晶圆片的变形，同时也会降低晶圆片在搬运过程中的稳定性。通过实施本实用新型的技术方案，吸盘为叉形结构，与晶圆片接触时，能有效防止晶圆片边缘下垂；通过叉形吸盘上三个沟槽的设置，保证夹持器在拾取大尺寸、超薄晶圆片时可以向整个晶圆面提供稳定而均匀的吸附力和支撑，从而保证晶圆片在搬运过程中的稳定性。