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真空吸附式环形末端夹持器

基本信息

申请号 CN202011517093.7 申请日 -
公开（公告）号 CN112606031A 公开（公告）日 2021-04-06
申请公布号 CN112606031A 申请公布日 2021-04-06
分类号 B25J15/06(2006.01)I 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 何瑞;郭梅;刘丹;韩浚源 申请（专利权）人 昀智科技（北京）有限责任公司
代理机构 北京中索知识产权代理有限公司 代理人 胡大成
地址 102300北京市门头沟区莲石湖西路98号院7号楼306室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种真空吸附式环形末端夹持器，包括：法兰和吸盘；法兰，用于安装外部结构；吸盘包括第一吸盘和第二吸盘,第一吸盘和第二吸盘相对设置呈环形结构,并分别与法兰的两端连接呈一体结构。通过实施本发明的技术方案，环形吸盘通过三个触盘与晶圆片的边缘区域接触，形成三点的稳定接触，可以有效提高吸盘对晶圆片整个表面的支撑，避免晶圆片的变形，提高夹持晶圆片的稳定性；三个沟槽通过各自的抽气孔与气道连通，共同使用相同的气源，形成稳定均匀的吸附力从晶圆片的边缘区域来吸附晶圆；在环形吸盘上还设置有限位块，在搬运过程中因事故或意外导致晶圆片与吸盘松脱时，对晶圆片起到限位和保护的作用。