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一种机械切削-离子束刻蚀制备光栅方法

基本信息

申请号 CN201811190334.4 申请日 -
公开（公告）号 CN109143437B 公开（公告）日 2021-03-02
申请公布号 CN109143437B 申请公布日 2021-03-02
分类号 G02B5/18(2006.01)I 分类 光学;
发明人 相连钦;祝晓勇 申请（专利权）人 宁波源禄光电有限公司
代理机构 北京科迪生专利代理有限责任公司 代理人 安丽
地址 315800浙江省宁波市保税区东区兴业五路7号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种机械切削‑离子束刻蚀制备光栅方法，克服制作高密度刻线的衍射光栅过程中，切削刀具刀尖圆角使得光栅衍射效率下降的影响。本发明是一种在机械切削基础上采用离子束刻蚀的方法，通过一块机械切削母板光栅复制而来的子板光栅，在其表面镀上Al或GaAs膜等其他反射膜，并选择合适离子束入射角进行离子束刻蚀，刻槽槽底圆弧部分离子束刻蚀速率比刻槽其它部分快，可清除圆弧，使得圆弧刻蚀成尖角，且光栅闪耀角在离子束刻蚀过程中保持不变，刻槽深度增加，提高光栅衍射效率。与一般全息‑离子束刻蚀光栅相比，本发明提供的机械切削‑离子束刻蚀制备光栅方法，易于实现小闪耀角简便，易显著提高光栅使用波段的衍射效率等优势。