一种单晶炉掺杂装置及单晶炉
基本信息
| 申请号 | CN202120384601.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214496544U | 公开（公告）日 | 2021-10-26 |
| 申请公布号 | CN214496544U | 申请公布日 | 2021-10-26 |
| 分类号 | C30B15/04（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李帅;吴海啸;刘小明;武建华;高万里 | 申请（专利权）人 | 内蒙古和光新能源有限公司 |
| 代理机构 | 内蒙古欣洋瑞专利代理有限公司 | 代理人 | 刘永珍 |
| 地址 | 010010内蒙古自治区呼和浩特市土默特左旗沙尔沁镇沙尔沁工业园爱迩电子产业园内 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种单晶炉掺杂装置及单晶炉，其中单晶炉掺杂装置包括活动卡接的连接部和预制料盒，在进行掺杂时，母合金可由预制料盒的进料口放入盒内，之后将连接部的卡块通过预制料盒的卡块插口插入从而封闭预制料盒，即可实现母合金放置空间的密封性，避免母合金被惰性气体的气流带走；同时预制料盒采用了硅材质，将母合金送入硅液时预制料盒也会随之熔化，既可简化掺杂过程，也可有效保证母合金的全部掺入。本实用新型的单晶炉掺杂装置通过简单的升降即可实现母合金的掺杂，不仅能使母合金稳定进入硅液，避免溅起硅液；而且相比于长晶放肩的方法，可极大的节省时间，提高掺杂效率，降低掺杂成本，十分便捷。 |
