一种大角度中长波红外增透保护膜及其制备方法
基本信息
申请号 | CN202011457256.7 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112578481A | 公开(公告)日 | 2021-03-30 |
申请公布号 | CN112578481A | 申请公布日 | 2021-03-30 |
分类号 | G02B1/115(2015.01)I | 分类 | 光学; |
发明人 | 张旭;钱纁;肖红涛;党参;张克宏;宫月 | 申请(专利权)人 | 北京中材人工晶体研究院有限公司 |
代理机构 | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 刘继富;王春伟 |
地址 | 100018北京市朝阳区红松园1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种大角度中长波红外增透保护膜,其包括依次设置在ZnS基底上的第一ZnS层、第一YbF3层、第二ZnS层、第二YbF3层、第三ZnS层、第三YbF3层和Al2O3外层;其中,各层的厚度为:第一ZnS层:80‑120nm,第一YbF3层:140‑160nm,第二ZnS层:230‑250nm,第二YbF3层:370‑390nm,第三ZnS层:150‑160nm,第三YbF3层:920‑930nm,Al2O3外层:30‑90nm;所述大角度中长波红外增透保护膜在入射角为45‑47.2°、50‑60°、65‑70°时,对波长为3‑5μm的光的平均透过率分别为85‑92%、80‑90%、62‑68%。当光以大角度入射时,其具有高的透过率且膜层间匹配性好、结构更稳定。 |
