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一种高纯度氮化铝粉体及氮化铝粉体提纯方法

基本信息

申请号 CN201910243035.0 申请日 -
公开（公告）号 CN110015648B 公开（公告）日 2021-05-04
申请公布号 CN110015648B 申请公布日 2021-05-04
分类号 C01B21/072 分类 无机化学;
发明人 周振翔;陈建荣;田庭燕;何敬晖;崔松满 申请（专利权）人 北京中材人工晶体研究院有限公司
代理机构 北京志霖恒远知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 赵奕
地址 100018 北京市朝阳区东坝红松园1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种高纯度氮化铝粉体及氮化铝粉体提纯方法。利用还原气体对Al粉与AlN粉的混合粉体所在的合成腔体进行高温气洗处理，用于去除所述合成腔体内的氧气；真空状态下，在第一提纯温度下，去除所述混合粉体杂质中的氢氧化物，在第二提纯温度下，去除所述混合粉体杂质中的碳，在第三提纯温度下，利用所述Al蒸汽去除所述混合粉体杂质中的氧化铝。提纯方法简单，通过杂质去除顺序及相应提纯步骤的合理设计，加之Al粉的加入，有效抑制了提纯过程中AlN粉体的分解，减少原料的损耗，通过高频燃烧红外吸收法和惰气脉冲红外热导法测试得本发明所得氮化铝粉体的碳含量为42PPM，氧含量为220PPM，纯度高。