一种光学ZnS材料及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202011457261.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112626488A | 公开（公告）日 | 2021-04-09 |
| 申请公布号 | CN112626488A | 申请公布日 | 2021-04-09 |
| 分类号 | C23C16/30;C23C16/448;C23C16/52 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 钱纁;肖红涛;张旭;党参;张克宏;宫月 | 申请（专利权）人 | 北京中材人工晶体研究院有限公司 |
| 代理机构 | 北京柏杉松知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 刘继富;王春伟 |
| 地址 | 100018 北京市朝阳区红松园1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种光学ZnS材料及其制备方法，其中制备方法包括：将锌和硫分别装入化学气相沉积炉的第一坩埚和投料装置；对第一坩埚、第二坩埚及沉积腔加热，通过投料装置向第二坩埚投放硫；向第一坩埚通入惰性载流气，向第二坩埚通入惰性载流气和氢气，使含有锌蒸气和硫蒸气的载流气分别通过管道进入沉积腔沉积ZnS，沉积过程中通过投料装置向第二坩埚定时定量补充硫，以维持硫的饱和蒸气压在0.8～1.8KPa范围内。本发明制备方法不会产生H2S，因此能够避免因H2S分解产生H离子与Zn蒸气形成氢锌络合物而影响ZnS材料的透过率和发射率。 |
