一种连续沉积金刚石薄膜设备
基本信息
| 申请号 | CN202020739466.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212293743U | 公开（公告）日 | 2021-01-05 |
| 申请公布号 | CN212293743U | 申请公布日 | 2021-01-05 |
| 分类号 | C23C16/54(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 玄真武;李勇;张怡;何敬晖 | 申请（专利权）人 | 北京中材人工晶体研究院有限公司 |
| 代理机构 | 北京志霖恒远知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 中材人工晶体研究院有限公司;北京中材人工晶体研究院有限公司 |
| 地址 | 100018北京市朝阳区东坝红松园1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种连续沉积金刚石薄膜设备。包括预沉积室、沉积室、制品待取室及将预沉积室的基片从所述预沉积室依次传输至沉积室、制品待取室的基片传输装置，其中，所述预沉积室、沉积室、制品待取室依次设置且依次连接，预沉积室内充入基片沉积时所需气氛气体，在所述沉积室内当前热丝结构的作用下，依次对进入所述沉积室的多批次基片进行金刚石薄膜沉积，实现了在不更换热丝结构的前提下，多次金刚石膜的沉积，避免了现有技术中由于热丝消耗和中间更换热丝所导致的成本非必要提高问题，有利于金刚石薄膜的推广。 |
