OLED蒸镀制程用精密金属遮罩
基本信息
| 申请号 | CN201920703417.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210163514U | 公开（公告）日 | 2020-03-20 |
| 申请公布号 | CN210163514U | 申请公布日 | 2020-03-20 |
| 分类号 | C23C14/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 蒋国忠;宋荣华;高远;王志安 | 申请（专利权）人 | 江西联创致光科技有限公司 |
| 代理机构 | 江西省专利事务所 | 代理人 | 江西联创致光科技有限公司 |
| 地址 | 330029 江西省南昌市高新技术产业开发区京东大道168号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种OLED蒸镀制程用精密金属遮罩，包括遮罩本体，遮罩本体由遮罩本体无效区和遮罩本体有效孔洞开口区组成，遮罩本体有效孔洞开口区内部开有基准孔洞，其特征在于，遮罩本体有效孔洞开口区外层孔洞及有效孔洞开口区次外层孔洞的孔径小于基准孔洞，有效孔洞开口区外层孔洞的孔径为基准孔洞的25%~50%，有效孔洞开口区次外层孔洞的孔径为基准孔洞的50%~75%。本实用新型的OLED蒸镀制程用精密金属遮罩，通过将有效孔洞开口区外层孔洞及有效孔洞开口区次外层孔洞的孔径改小，使得遮罩本体有效孔洞开口区边缘的无效区间距增大，从而能提高有效孔洞开口区边界的结构强度，大大降低有效孔洞开口区边界的折伤不良率。 |
