OLED蒸镀用精密金属遮罩
基本信息
| 申请号 | CN201920691316.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210134157U | 公开（公告）日 | 2020-03-10 |
| 申请公布号 | CN210134157U | 申请公布日 | 2020-03-10 |
| 分类号 | C23C14/04;C23C14/24;C23C14/12 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 蒋国忠;宋荣华;高远;王志安 | 申请（专利权）人 | 江西联创致光科技有限公司 |
| 代理机构 | 江西省专利事务所 | 代理人 | 江西联创致光科技有限公司 |
| 地址 | 330029 江西省南昌市高新技术产业开发区京东大道168号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种OLED蒸镀用精密金属遮罩，其特征在于，金属基材上均匀设置结构相同的凹陷区，凹陷区是侧面为弧形的圆台体空腔，圆台体空腔的大端面开在金属基材的第一主表面上，圆台体空腔的小端面在金属基材内；孔洞的外端面开在金属基材的第二主表面上，孔洞的内端面与圆台体空腔的小端面为共同端面；圆台体空腔大端面、小端面与金属基材纵向截面相交成两端点，该两端点的连线与金属基材第一主表面、第二主表面成45‑65度蒸镀角。本实用新型是透过蚀刻激光复合制作法所制作出来的，因其第二主表面与孔洞开口的侧边壁面接近垂直无斜坡，其交界处无尖点，结构相对稳定，且孔洞大小的精度达到≤±2um，蒸镀角达到45‑65度。 |
