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基于芯片检测的缺陷识别方法及系统

基本信息

申请号 CN202111653122.7 申请日 -
公开（公告）号 CN114416978A 公开（公告）日 2022-04-29
申请公布号 CN114416978A 申请公布日 2022-04-29
分类号 G06F16/35（2019.01）I;G06F16/36（2019.01）I 分类 计算；推算；计数;
发明人 顾黎明 申请（专利权）人 苏州知瑞光电材料科技有限公司
代理机构 常州市权航专利代理有限公司 代理人 张佳文
地址 215500江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区贤士路1号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明实施例提供了一种基于芯片检测的缺陷识别方法及系统，通过获取目标芯片检测单元的芯片检测数据，并依据芯片检测数据，以及目标芯片检测单元对应的终止芯片时空域节点的芯片时空域节点的芯片历史缺陷活动簇，配置芯片时空域节点对应的基础缺陷分析数据，然后依据芯片时空域节点的芯片历史缺陷活动簇确定芯片时空域节点的缺陷数据中对应所述目标芯片检测单元中的缺陷类别标签信息，从而添加目标芯片检测单元的缺陷识别策略信息以进行缺陷识别。如此，依据芯片检测数据并结合每个芯片时空域节点的在先缺陷识别数据，对目标芯片检测单元进行缺陷识别，可以提高缺陷识别的有效性。