芯片检测过程中的稳定性检测方法及系统
基本信息
申请号 | CN202111660792.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN114414986A | 公开(公告)日 | 2022-04-29 |
申请公布号 | CN114414986A | 申请公布日 | 2022-04-29 |
分类号 | G01R31/28(2006.01)I | 分类 | 测量;测试; |
发明人 | 顾黎明 | 申请(专利权)人 | 苏州知瑞光电材料科技有限公司 |
代理机构 | 常州市权航专利代理有限公司 | 代理人 | 张佳文 |
地址 | 215500江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区贤士路1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明实施例提供了一种芯片检测过程中的稳定性检测方法及系统,通过依据设定的针对芯片生产操作活动的芯片生产操作活动数据进行训练得到的生产稳定性决策网络进行训练得到的生产稳定性决策网络对所述芯片生产操作活动日志进行生产稳定性决策特征提取;将生产稳定性决策网络生成的各个芯片生产操作活动的生产稳定性决策特征分别与预先获得的目标样本芯片生产操作活动日志的生产稳定性决策特征进行比对,得到特征比对信息,从而可以决策获得的各生产稳定性决策特征是否匹配训练依据存储条件。若匹配训练依据存储条件,则将相关的芯片生产操作活动日志进行训练依据存储。如此,可以对芯片生产操作活动日志进行生产稳定性决策后进行后续处理。 |
