晶圆片的烘干机
基本信息
| 申请号 | CN201320813796.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203629225U | 公开（公告）日 | 2014-06-04 |
| 申请公布号 | CN203629225U | 申请公布日 | 2014-06-04 |
| 分类号 | F26B11/00(2006.01)I;F26B7/00(2006.01)I | 分类 | 干燥; |
| 发明人 | 张荣勤;罗惠英;宋京;丁国建;魏文生 | 申请（专利权）人 | 天津中环新光科技有限公司 |
| 代理机构 | 天津三元专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 天津中环新光科技有限公司 |
| 地址 | 300385 天津市西青区津港公路微电子工业区毕升道2号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种晶圆片的烘干机，包括：设在烘干箱上部的电机、设在烘干箱中的喷气嘴、设在烘干箱上的上盖、设在上盖上的出气口以及设在烘干箱底部的排水口；该烘干箱的上部设置一通风橱，电机固定在通风橱的顶部；电机的转轴上连接有一连接杆，该连接杆延伸至烘干箱内，连接杆的端部悬吊一花篮，花篮的底部设置一用于放置有晶圆片的托盘。本实用新型操作简单，不仅有效地解决了烘干过程中，晶圆片干燥不均匀的问题，而且，晶圆片还不易产生断裂；同时，提高了晶圆片稳定性。 |
