一种离子源离子喷口装置
基本信息
| 申请号 | CN202020046816.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211238154U | 公开（公告）日 | 2020-08-11 |
| 申请公布号 | CN211238154U | 申请公布日 | 2020-08-11 |
| 分类号 | H01J37/08(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 毛念新;黄翔鄂;严仲君 | 申请（专利权）人 | 上海嘉森真空科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海三方专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴玮 |
| 地址 | 201801上海市嘉定区博学南路1015弄9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种离子源离子喷口装置，将盖板的一端通过螺栓固定安装推杆，推杆的一端活动安装有气缸，气缸推动推杆移动，使得推杆带动盖板移动，进而使得盖板带动活动杆移动，使得活动杆绕第二销轴和第一销轴的轴心线转动，进而通过活动杆的转动使得盖板能够沿水平方向移动，以使得当箱体需要封闭时，盖板通过气缸的驱动向喷出口的一侧移动以与喷出口相抵，当需要对箱体内的部件进行维修或维护时，盖板通过气缸的驱动向远离喷出口的一端移动，以将箱体打开，从而方便对箱体内的部件进行维修或维护，气缸的驱动方便实现，且驱动过程稳定，易于实现。 |
