低热辐射真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201720873664.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207091505U | 公开（公告）日 | 2018-03-13 |
| 申请公布号 | CN207091505U | 申请公布日 | 2018-03-13 |
| 分类号 | C23C14/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 毛念新;严仲君 | 申请（专利权）人 | 上海嘉森真空科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海卓冉律师事务所 | 代理人 | 李锋 |
| 地址 | 201800 上海市嘉定区曹安路3652号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种低热辐射真空镀膜机，其包括镀膜箱等，加热器位于镀膜箱的顶端内壁上，镀膜箱与主阀的一侧之间通过百叶窗连接，主阀的底端与冷凝泵相连接，气缸与基板之间通过连杆连接，水冷挡板位于百叶窗的侧面上，排气口位于百叶窗的底端上，真空泵与吸盘连接，侧盖位于主阀的另一侧上，管道与冷凝泵的底端连接，管道位于框架上。本实用新型通过设置水冷挡板，有效屏蔽了对冷凝泵的热辐射，确保冷凝泵的正常运作，保障抽真空效率。 |
