用于防污膜材料的电阻蒸发源
基本信息
| 申请号 | CN201721195496.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN207483838U | 公开（公告）日 | 2018-06-12 |
| 申请公布号 | CN207483838U | 申请公布日 | 2018-06-12 |
| 分类号 | C23C14/26 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 毛念新;严仲君 | 申请（专利权）人 | 上海嘉森真空科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海卓冉律师事务所 | 代理人 | 李锋 |
| 地址 | 201800 上海市嘉定区曹安路3652号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于防污膜材料的电阻蒸发源，其包括蒸发舟等，蒸发舟位于电极的一端，电极的另一端与电极棒的一端连接，电极棒的另一端连接金属接线端子，加热器位于电极棒的上方，第一冷却水路位于金属接线端子的一侧，加热器位于金属接线端子的一侧，第一冷却水路和第二冷却水路相连通，金属接线端子位于第二冷却水路的一侧，第二冷却水路位于电极内，上螺帽位于下螺帽的上方，上螺母位于下螺母的上方，上螺帽位于上螺母的上方，下螺母位于下螺帽的上方，连接孔位于金属接线端子上且位于电极的一侧。本实用新型能够有效控制加热的温度，始终使蒸发舟温度保持在防污膜的蒸发温度范围内，保证防污膜材料可以均匀蒸发形成均匀的镀膜效果。 |
