一种溅射镀膜机基片架整体取出装置
基本信息
| 申请号 | CN202020082432.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211645372U | 公开（公告）日 | 2020-10-09 |
| 申请公布号 | CN211645372U | 申请公布日 | 2020-10-09 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 毛念新;黄翔鄂;严仲君 | 申请（专利权）人 | 上海嘉森真空科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海三方专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴玮 |
| 地址 | 201801上海市嘉定区博学南路1015弄9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及镀膜装置技术领域，具体来说是一种溅射镀膜机基片架整体取出装置，其特征在于一上传动盘，上传动盘中部设有固定法兰，固定法兰顶部通过长螺杆与顶锥连接；一下传动盘；一中心轴，中心轴顶部与顶锥连接，底部穿过下传动盘与底锥连接；一弹簧，设置于中心轴外侧，弹簧一端连接上传动盘，弹簧另一端连接下传动盘，其优点在于：结构简单，方便装夹，安装位置更精确，节省人力。 |
