一种可调式磁场装置
基本信息
| 申请号 | CN202020046677.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212025446U | 公开（公告）日 | 2020-11-27 |
| 申请公布号 | CN212025446U | 申请公布日 | 2020-11-27 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 毛念新;黄翔鄂;严仲君 | 申请（专利权）人 | 上海嘉森真空科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海三方专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴玮 |
| 地址 | 201801上海市嘉定区博学南路1015弄9号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体来说是一种可调式磁场装置，包括冷却块、磁铁支架、磁铁盖板、圆形磁铁和磁控固定板，其特征在于：所述冷却块由槽形内框体组成，所述冷却块内部设有磁铁支架，所述磁铁支架内部设有若干圆形磁铁，所述磁铁支架上端设有磁铁盖板，所述磁铁盖板上端设有磁控固定板，磁铁支架与磁控固定板采用轻便的材质使得整体更换与调节更为方便，且铝材与塑料也杜绝了生锈带来的各种问题，通过改动圆形磁铁的数量来改变每个电磁场方向和磁通量的大小，从而提高了沉积速度，增加了镀膜的稳定性，满足了工艺稳定等问题，使得镀膜的厚度更加均匀，本实用新型不但提高了靶材的利用率，降低了设备的投入成本。 |
