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湿法刻蚀绝缘清洗机水膜保护装置

基本信息

申请号 CN201320884387.2 申请日 -
公开（公告）号 CN203760435U 公开（公告）日 2014-08-06
申请公布号 CN203760435U 申请公布日 2014-08-06
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 宋道新;万福旺;张振兴 申请（专利权）人 山东天信光伏新能源有限公司
代理机构 东营双桥专利代理有限责任公司 代理人 罗文远
地址 257091 山东省东营市经济技术开发区淮河路79号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种湿法刻蚀绝缘清洗机水膜保护装置。其技术方案是：包括快速接头、水刀管路、水刀、水刀支架、单向阀，所述的水刀管路的一侧连接快速接头，快速接头外侧连接单向阀，水刀管路的另一侧连接水刀，所述水刀管路的端部设有水刀支架，通过水刀支架固定水刀管路的位置。有益效果是：在入料时通过水刀加装一层水膜，形成保护层，隔绝了酸雾与硅片表面的接触，从而保护了硅片表面的磷硅玻璃，保证了硅片出料后的方阻提升在一个可控的范围之内，有效的控制了方阻的提升，对于硅片的质量进行了有力的保障，而且隔绝了酸雾对硅片表面的影响，使整个硅片出料后的外观得到了极大地改善。