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干法刻蚀机夹具座

基本信息

申请号 CN201320884238.6 申请日 -
公开（公告）号 CN203760434U 公开（公告）日 2014-08-06
申请公布号 CN203760434U 申请公布日 2014-08-06
分类号 H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 宋道新;万福旺;张振兴 申请（专利权）人 山东天信光伏新能源有限公司
代理机构 东营双桥专利代理有限责任公司 代理人 罗文远
地址 257091 山东省东营市经济技术开发区淮河路79号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种干法刻蚀机夹具座。其技术方案是：包括酸槽、左下支架、第一聚偏氟乙烯管、右下支架、左上支架、第二聚偏氟乙烯管、右上支架，所述的酸槽的中部安设有左下支架、右下支架、左上支架、右上支架，所述的左下支架和右下支架上固定第一聚偏氟乙烯管，所述的左上支架、右上支架上固定第二聚偏氟乙烯管；所述的第一聚偏氟乙烯管和第二聚偏氟乙烯管组成刻蚀平面。有益效果是：通过夹具座的改造，硅片在放置的过程中整齐的程度得到了保障，从而保障了硅片在干刻过程中刻蚀边缘的宽度，极大程度了降低了过刻片的产生降低了硅片的返工率和失效、低效片的产生。