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一种刻蚀加压喷淋清洗器

基本信息

申请号 CN201620287925.3 申请日 -
公开（公告）号 CN205657044U 公开（公告）日 2016-10-19
申请公布号 CN205657044U 申请公布日 2016-10-19
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 杨洪军;鞠靖;张振兴;万福旺 申请（专利权）人 山东天信光伏新能源有限公司
代理机构 东营双桥专利代理有限责任公司 代理人 罗文远
地址 257000 山东省东营市经济技术开发区淮河路79号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种刻蚀加压喷淋清洗器。其技术方案是：在硅片的上部设有上清洗装置，在硅片的下部设有下清洗装置，在第一水刀管路的右侧设有第一水汽混合加压装置，在第一水刀管路的下侧设有第一水刀，在第一水刀上设有多个第一喷雾头，在第二水刀管路的右侧设有第二水汽混合加压装置，在第二水刀管路的上侧设有第二水刀，在第二水刀上设有多个第二喷雾头，雾化座的出液端设有雾化盖，在雾化盖的中心设有出液孔，以出液孔为圆心的外周设有环槽。本实用新型的有益效果是：本实用新型在硅片的上部和下部均设有清洗装置，清洗装置上加设有水汽混合加压装置，喷雾头喷出的喷雾为扇形，这样，节省了去离子水，降低了费用，并且清洗效果好。